温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于半导体晶片加工的具有孔位编号的游星轮，属于游星轮技术领域，其包括游星轮主体，所述游星轮主体的内壁搭接有内环组件，所述游星轮主体的内壁固定连接有四个固定组件，所述固定组件的外表面与内环组件的内壁固定连接，四个所述固定组...
该专利属于无锡晶名光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡晶名光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。