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本发明为解决现有用于等离子体辉光放电的射频电源，存在效率过低，导致功耗较大，散热难度大，无法用于星载产品，且匹配器通常为可调真空电容，体积重量无法满足卫星电推进任务需求的技术问题，而提供一种用于等离子体产生的高效射频源及其射频能量产生方法。...
该专利属于西安航天动力研究所所有，仅供学习研究参考，未经过西安航天动力研究所授权不得商用。

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