下载薄膜电阻的形成的技术资料

文档序号:3729887

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一种用于形成分立电阻的三层结构,它包含:    一层金属导电层,    一层中间层,由能够被化学蚀刻剂所消蚀的材料形成,和    一层电阻材料层,它具有足够的孔隙度以使得用于所述中间层的所述化学蚀刻剂可以渗透通过所述电阻材料而化学消蚀所述中...
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