下载层叠体及剥离剂组合物的技术资料

文档序号:37298069

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一种层叠体,其特征在于,具备:半导体基板;支承基板;设为与上述半导体基板相接的剥离层;以及设于上述支承基板与上述剥离层之间的粘接层,上述剥离层是由包含主要由聚二甲基硅氧烷组成的聚有机硅氧烷成分的剥离剂组合物得到的膜,上述聚有机硅氧烷成分在2...
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