下载一种防泄漏效果好的TMAH提纯装置的技术资料

文档序号:37296516

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本申请提供了一种防泄漏效果好的TMAH提纯装置,属于TMAH技术领域,以解决TMAH提纯装置散热效果不能够精确调节,不具备调节散热性能的同时保证密封的问题,包括底板,所述底板的上方固定设置有散热网板,底板的表面安装有阴极,底板上安装有外壳,...
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