下载一种集成模片式多功能真空吸具的技术资料

文档序号:37295725

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本发明公开了一种集成模片式多功能真空吸具,包括基板,基板底部固定有气道板,气道板内部设有吸附腔,气道板的底部设有与吸附腔连通的吸附通孔,气道板的底部设有止回阀板,止回阀板上设有与吸附通孔对应的阀腔,且止回阀板的底部设有承重板,承重板上设有与...
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