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本实用新型涉及用于称重提拉法的水冷籽晶杆，它包括用于固设晶种的杆芯，所述杆芯的上端设有旋转电机，所述旋转电机与称重体系连接，所述杆芯的外围套设有冷却单元以及位于冷却单元上方的波纹管；所述冷却单元包括用于与晶体生长炉顶壁固定连接的固定座以及与...
该专利属于福建致卓光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建致卓光电科技有限公司授权不得商用。

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