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本发明涉及一种用于在部件放置机中支承衬底的支承装置，这种支承装置包括一外壳（１）、一活塞杆（５）以及一锁定机构（７至９），其中活塞杆（５）布置于外壳（１）中以便可在加压流体作用下在外壳（１）中沿其纵向运动并且其一端伸出外壳（１）之外，锁定机...
该专利属于阿森姆布里昂股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿森姆布里昂股份有限公司授权不得商用。

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