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低电阻复合硅基电极制造技术
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文档序号:37292854
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硅基电极与层对形成界面,所述层对为:1.由锂(Li)化合物,例如氟化锂LiF,制成的薄的半介电层,其设置在硅基电极的电极表面上并与其粘附,和2.含锂盐的熔融离子导电层(锂盐层),其设置在半介电层上。一个或多个器件层可以设置在层对上以制造诸如...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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