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本发明属于太赫兹调制器技术领域，公开了一种基于钙钛矿超材料的太赫兹调制器及其制备方法，二氧化硅基底上端部分覆盖金属微结构，金属微结构和二氧化硅基底上均覆盖一层钙钛矿薄膜；金属微结构为周期性结构，单个正方形周期内在水平和竖直方向对称分步有两根...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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