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本发明提供了一种MOCVD排气系统及清理方法，该MOCVD排气系统包括排气管道；清洁气体输入管道，与所述排气管道连接，所述清洁气体输入管道用于将清洁气体导入所述排气管道，以使所述清洁气体与位于所述排气管道中的残留物发生缓慢氧化反应；检测器，...
该专利属于楚赟精工科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过楚赟精工科技（上海）有限公司授权不得商用。

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