下载一种全自动曝光机的技术资料

文档序号:37291858

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本发明公开了一种全自动曝光机,包括基板整齐机构、旋转上料仓、取料机械手、搬运机械手、CCD对位机构、曝光机构、旋转下料仓和曝光系统,所述曝光机构两侧对称设置有搬运机械手,两个所述搬运机械手相背离一端分别设置有旋转上料仓和旋转下料仓;所述旋转...
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