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本发明公开了一种直拉硅单晶生长设备中软轴提拉系统的摆动识别方法，首先在控制籽晶提拉的电机上安装振动传感器，获取振动信号；然后对采集的振动信号进行预处理，得到经过降噪之后故障成分明显增强的振动信号；最后根据处理后的振动信号，获取软轴提拉系统在...
该专利属于西安理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安理工大学授权不得商用。

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