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一种磁控溅射镀膜工装制造技术
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文档序号:37291237
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本发明提供了一种磁控溅射镀膜工装,属于生产工装技术领域,包括底板与多个放置架,底板与旋转轴固定连接,多个放置架首尾拼接围绕底板圆周设置,且每个放置架与底板之间均为转动连接,每个放置架的端部与底板之间为可拆卸连接,每个放置架上均设置有用于放置...
该专利属于宁波科星材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波科星材料科技有限公司授权不得商用。
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