下载带上下运动机构的洗涤辊装置的技术资料

文档序号:3729105

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洗涤辊装置,具有压接到需要进行洗涤处理的对象板W上并转动的吸附辊2、5和压接到该吸附辊上并转动的粘附辊3、6的一对辊组,上述一对辊组具有位于上下位置的上部辊组4及下部辊组7的两组辊组,该两组辊组4、7枢支在相对于机架1可上下运动的可动框体8...
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