下载一种H型气浮平台运动控制系统的技术资料

文档序号:37290496

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本发明涉及高精密气浮平台的伺服控制技术领域,具体为一种H型气浮平台运动控制系统,包括工控机、控制器、驱动器、直线电机、光栅尺和气浮平台,所述控制器基于模糊
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