下载一种晶圆测试台的技术资料

文档序号:37289849

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本发明提供一种晶圆测试台,包括测试盒、磁场发生装置、聚磁装置和测试装置,测试盒内设有测试腔,磁场发生装置设于所述测试腔内,聚磁装置设于所述测试腔内,且所述聚磁装置设于所述磁场发生装置一侧,测试装置与所述测试盒连接,所述测试装置中的探针设于所...
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