下载基于热压球形键合的芯片封装方法、装置及芯片封装结构的技术资料

文档序号:37289847

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本发明提供一种基于热压球形键合的芯片封装方法、装置及芯片封装结构,所述方法包括以下步骤:将晶圆进行划片,得到多个可电连接的且具有固定图案的半导体裸芯片;将半导体裸芯片与基板进行高温共晶焊接;将得到具有基材的芯片与引线框架进行引线键合;将散热...
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