下载基于MEMS的真空计控制电路的技术资料

文档序号:37281021

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本实用新型实施例提供一种基于MEMS的真空计控制电路,包括:传感器模拟前端电路、电源电路、数据处理电路和模拟输出电路;传感器模拟前端电路感测被测环境中的真空度,当被测环境的真空度发生变化时,传感器模拟前端电路能够产生电信号差异,并检测到差分...
该专利属于博思发科技(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过博思发科技(深圳)有限公司授权不得商用。

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