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本发明公开了一种图案形状物及其制造方法。该图案形状物包括由粒子聚集体构成的图案，用于支撑图案的支撑元件，和在图案与支撑元件边界处形成的混合层。混合层由粒子和支撑元件的混合物构成。在混合层以外的部分内的粒子尺寸大于混合层内的粒子尺寸。...
该专利属于株式会社理光所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社理光授权不得商用。

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