下载一种超净高纯电子级双氧水的制备方法的技术资料

文档序号:37277251

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本发明公开了一种超净高纯电子级双氧水的制备方法,涉及双氧水制备技术领域,主要应用于半导体等行业,所述的制备方法采用工业双氧水作为原料,步骤如下:S1.调节工业双氧水的浓度和温度;S2.将调节后的工业双氧水经过膜过滤装置;S3.将得到过滤后的...
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