下载图像产生方法和用于检查基板的装置的技术资料

文档序号:3727713

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本发明提供图像产生方法和用于检查基板的照明装置。为了产生用于检查基板的图像,在该基板上方提供照相机,其光轴取向向下,并且在照相机的光轴周围设置多个多色发光部件,使其位于相对于基板上的目标区域的指定角度范围之内。当控制这些发光部件的开启状态,...
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