下载液滴排放设备的技术资料

文档序号:3727381

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本发明提供一种液滴排放设备,不会在成分从喷头排放时因干燥、固化等造成不良排放。本发明的一个特点包括设置了成分排放喷孔的喷头部分、从喷孔排放成分的增压装置、向喷头部分底面提供成分的装置,其中对喷头部分底面作亲液处理。作为向喷头部分提供成分的装...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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