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本发明公开了一种基于深度信念网络的半导体硅单晶生长状态监测方法，首先建立直拉硅单晶生长过程模型；然后基于硅单晶生长模型构建二输入多输出的硅单晶生长仿真系统，选取合适的硅单晶生长仿真系统的输出变量经过数据处理，最后将选取的输出变量输入到状态监...
该专利属于西安理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安理工大学授权不得商用。

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