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本实用新型公开了一种ITO旋转靶材成型装置，包括粉仓及设置在粉仓下方的支撑架，粉仓包括粉仓本体、密封组件及胶套，粉仓本体的两端分别设置有用于密封其上、下端口的密封组件，胶套设置在粉仓本体内，密封组件包括法兰盖、端盖及橡胶环，橡胶环套设在胶套...
该专利属于洛阳晶联光电材料有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳晶联光电材料有限责任公司授权不得商用。

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