下载单片异质集成的microLED显示芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:37263405

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本发明公开一种单片异质集成的microLED显示芯片,采用外延片上microLED柱阵列,与二维半导体薄膜晶体管矩阵作为驱动电路进行垂直单片异质集成。本发明还公开了其制备方法。本发明避免了传统microLED显示芯片制备工艺中的巨量转移,利...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。

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