下载波浪状传感界面的碳纳米管场效应晶体管生物传感器、制备方法及应用的技术资料

文档序号:37262429

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本发明提供一种波浪状传感界面的碳纳米管场效应晶体管生物传感器、制备方法及应用,该碳纳米管场效应晶体管生物传感器包括:衬底;二氧化硅介质层;源极电极和漏极电极;CNT沟道层;Y2O3波浪状介电层;金纳米颗粒构成的连接层;溶液栅极和施加栅极电压...
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