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本发明涉及纳秒激光辐照制备单晶硅表面点阵结构的方法，属于材料表面微纳加工领域。所述方法包括以下步骤：将单晶硅依次在无水乙醇和丙酮中进行超声波清洗；将激光聚焦在单晶硅表面，以设定的激光辐照参数在空气环境下对单晶硅表面进行纳秒激光辐照，利用激光...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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