组合物、树脂、非晶质膜的制造方法、抗蚀图案形成方法、光刻用下层膜的制造方法及电路图案形成方法技术资料下载

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一种膜形成用组合物，其包含多环多酚树脂，所述多环多酚树脂具有源自选自由式(1
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