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本实用新型涉及真空泵组技术领域，具体为一种便于维护的三级真空泵机组；包括泵组框架、一级水环泵、二级罗茨泵、三级罗茨泵、补水水箱、板式散热器和维修旋臂；所述一级水环泵连通补水水箱，所述补水水箱连通板式散热器，所述板式散热器连通一级水环泵；所述...
该专利属于建滔（广州）电子材料制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过建滔（广州）电子材料制造有限公司授权不得商用。

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