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本实用新型涉及微机电系统MEMS管芯和振动传感器。振动传感器/加速度计在各种实现中包括：MEMS管芯，该MEMS管芯包括具有孔的板；锚固件，该锚固件设置在孔内；多个臂(例如，刚性臂)，所述多个臂从所述锚固件起延伸；以及多个弹性构件(例如，具...
该专利属于美商楼氏电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美商楼氏电子有限公司授权不得商用。

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