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本发明涉及一种光刻机改变光束直径的膜片的散热组件，包括支撑板，支撑板表面开设有第一滑槽，第一滑槽内部滑动设置有第一滑块，且第一滑块表面水平焊接设置有卡块，卡块内嵌设置有膜片，支撑板背面固定设置有驱动电机，驱动电机末端连接设置有传动组件，且传...
该专利属于南京云创大数据科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京云创大数据科技股份有限公司授权不得商用。

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