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本发明提出一种谐振器，包括：衬底、位于衬底上的压电叠层结构，以及位于压电叠层结构与衬底之间的空腔，压电叠层结构至少包括依次层叠设置的底电极层、压电层和顶电极层，底电极层具有凹陷区域，凹陷区域的底部与空腔中的衬底表面接触。上述方案通过将底电极...
该专利属于见闻录（浙江）半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过见闻录（浙江）半导体有限公司授权不得商用。

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