下载硅基靶板及其生产方法和应用的技术资料

文档序号:37245952

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本发明公开了一种硅基靶板的生产方法,包括如下步骤:步骤一:在硅片表面镀疏水层;步骤二:利用激光雕刻在硅片镀有疏水层的正面上雕刻样品点,且样品点的雕刻深度大于等于疏水层的厚度。本发明还提出了一种硅基靶板以及硅基靶板在质谱检测中的应用。在进行质...
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