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基板检查装置及其检查逻辑设定方法和检查逻辑设定装置。本发明的课题是提供可自动生成基板检查中所使用的检查逻辑的技术。作为解决手段，检查逻辑设定装置取得多个第一图像与多个第二图像，所述多个第一图像是对通过检查应该被检测出的部件进行拍摄而得到的，...
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