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批量制备大面积铅盐半导体单晶薄膜的装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:37238907
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本发明涉及一种批量制备大面积铅盐半导体单晶薄膜的装置及方法。包括:多段式真空管式炉、气源、真空泵、加热与控温装置;多段式真空管式炉,含反应源放置区,恒温加热区,控温沉积区。所述大面积铅盐半导体单晶薄膜在垂直放置的基底上生长,利用真空管式炉,...
该专利属于南昌大学所有,仅供学习研究参考,未经过南昌大学授权不得商用。
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