下载磁悬浮分子泵内气体冲击识别方法及装置、设备、介质的技术资料

文档序号:37238437

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本发明提供了磁悬浮分子泵内气体冲击识别方法及装置、设备、介质,气体冲击识别方法包括:根据磁悬浮分子泵的磁轴承上的推力盘的轴向位移和轴向运动时间,确定转子的轴向运动速度;获取转子的第一转速和第二转速,并根据第一转速和第二转速,确定转速变化量;...
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