下载一种磁吸式复合片基底研磨装置的技术资料

文档序号:37230974

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本实用新型公开了一种磁吸式复合片基底研磨装置,涉及研磨工具的技术领域,包括电机架、按压机构、微粉盘和研磨机构,所述电机架的主轴上匹配套装有横杆,所述按压机构通过横杆与研磨主体连接,所述微粉盘对应安装在所述研磨主体下方底座上;所述研磨机构包括...
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