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本申请提供一种金刚石纳米针阵列光吸收层及其制备方法，涉及材料领域。金刚石纳米针阵列光吸收层的制备方法，包括：在硅基底上采用微波等离子化学气相沉积法制备金刚石薄膜，然后采用电子回旋共振微波等离子化学气相沉积法对所述金刚石薄膜进行干法刻蚀成纳米...
该专利属于香港中文大学（深圳）所有，仅供学习研究参考，未经过香港中文大学（深圳）授权不得商用。

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