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本发明涉及MEMS管芯和基于MEMS的传感器。MEMS传感器的各种实现包括IC管芯，该IC管芯具有形成传感器的后腔容积的至少部分的腔室。该布置帮助解决横向速度梯度和粘滞所引起的损失的问题。在这些实施方式中的一些实施方式中，对腔室进行特别配置...
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