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本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，包括外环体和所述外环体内的空腔；振动支撑层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔；第一电极层，形成在所述振动支撑层上方，并且所述第一电极层的投影区域小于所述空腔的投影区域；压电层，形成在所述第一电极层...
该专利属于安徽奥飞声学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽奥飞声学科技有限公司授权不得商用。

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