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本实用新型公开了一种PVD涂层生产工艺用的清洗设备,包括顶板以及两组侧板,顶板顶端的两侧皆固定有中空回转盘,且中空回转盘的顶端转动安装有从动齿轮,顶板底端的一侧安装有四组凸柱,且四组凸柱的顶端安装有伺服电机,伺服电机的输出端通过双向传动结构...该专利属于东莞市普拉提纳米科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市普拉提纳米科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种PVD涂层生产工艺用的清洗设备,包括顶板以及两组侧板,顶板顶端的两侧皆固定有中空回转盘,且中空回转盘的顶端转动安装有从动齿轮,顶板底端的一侧安装有四组凸柱,且四组凸柱的顶端安装有伺服电机,伺服电机的输出端通过双向传动结构...