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一种基板支撑装置，不使用驱动源就能自动进行夹紧状态的设定和夹紧状态的解除。在沿着与基板承载台的移动方向垂直的Ａ、Ｂ方向设置的夹具部（２）上，设置包括夹紧爪（３２）的夹紧机构（３０），并在其下方设置沿着Ａ、Ｂ方向可移动的滑动机构（２０）。若基...
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