下载倾斜型搬运装置的技术资料

文档序号:3720190

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本发明提供一种能够防止搬运中产生粉尘,并可利用简易的搬运机构而稳定地进行大型玻璃基板的搬运的倾斜型的基板搬运装置。本基板搬运装置包括:第1旋转轴(10),其具有多个支持搬运滚子,该支持搬运滚子以规定的角度倾斜设置着,并与玻璃基板(60)的下...
该专利属于岛田理化工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过岛田理化工业株式会社授权不得商用。

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