下载微机电声音换能器系统的技术资料

文档序号:37200057

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本发明涉及一种实施为片上系统或系统级封装的微机电扬声器。微机电扬声器包括实现为微机电系统(MEMS)的微机电声音产生装置和安装在盖上或集成在盖中的麦克风,其中,麦克风定位成与盖的声音出口开口中的一个相邻。MEMS包括形成在平面盖、平面基座和...
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