下载一种实时监控PCD金刚石复合片研磨的方法及激光研磨装置的技术资料

文档序号:37199819

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本申请公开一种实时监控PCD金刚石复合片研磨的方法及激光研磨装置。该激光研磨装置包括:框体及激光研磨模组,激光研磨模组包括:驱动部,驱动部上有载物台,载物台以放置待研磨的金刚石复合片,驱动部在底座上,底座上有支架,支架的一侧配置有Z向移动组...
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