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本发明提供一种微悬臂、探针及原子力显微镜，该微悬臂应用于原子力显微镜，所述微悬臂包括第一区域、第二区域和第三区域，所述第一区域和所述第三区域分别设置在所述微悬臂的两端，所述第二区域在所述第一区域和所述第三区域之间，所述第一区域用于固定所述微...
该专利属于国家纳米科学中心所有，仅供学习研究参考，未经过国家纳米科学中心授权不得商用。

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