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本发明涉及一种化学放大型正性I线光刻胶及其制备与使用方法，该光刻胶包括以下质量百分比的各组分：聚对羟基苯乙烯类聚合物树脂15～35％；光致产酸剂0.1～0.6％；酸猝灭剂0.1～0.2％；流平剂0.05～0.1％；溶剂余量。制备方法包括以下...该专利属于徐州博康信息化学品有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州博康信息化学品有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种化学放大型正性I线光刻胶及其制备与使用方法，该光刻胶包括以下质量百分比的各组分：聚对羟基苯乙烯类聚合物树脂15～35％；光致产酸剂0.1～0.6％；酸猝灭剂0.1～0.2％；流平剂0.05～0.1％；溶剂余量。制备方法包括以下...