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本发明涉及一种探测系统，属于扫描电子显微镜技术领域，能够解决当前EBSD测试时必须样品台旋转、硬件限制所导致的测试角度受限、样品容易掉落、容易碰撞的问题；该系统包括第一物镜、第二物镜、EBSD探测器、样品台和PC端；第一物镜设于样品台正上方...
该专利属于纳克微束（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过纳克微束（北京）有限公司授权不得商用。

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