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一种产生大气压微波辉光等离子体的装置制造方法及图纸
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下载一种产生大气压微波辉光等离子体的装置的技术资料
文档序号:3718902
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本发明涉及一种产生大气压微波辉光等离子体的装置,包括有等离子体反应器、微波调控及监控系统、微波源,微波源通过连接法兰与微波调控及监控系统的右端相连,等离子体反应器由矩形波导、棒状电极、平板电极、短路活塞、石英管、水冷套及上法兰、下法兰构成,...
该专利属于武汉工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉工程大学授权不得商用。
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